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生長方式 CZ -- 結晶性 單晶 擇優化學腐蝕法 導電類型 P型 P/N型測試儀

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產品描述

材料性能

項目 規格 檢測方法
生長方式 CZ --
結晶性 單晶 擇優化學腐蝕法
導電類型 P型 P/N型測試儀
尺寸 M6:166mm*223mm
M10:182mm*247mm
硅片自動檢測設備
厚度 165+20/-10μm
160+20/-10μm
155+20/-10μm
150+10/-10μm
硅片自動檢測設備

電性能

項目 規格 檢測方法
電阻率 0.4-1.1 ohm.cm 硅片自動檢測設備
少子壽命 ≥50us Sinton BCT-400 QSSPC準穩態光電導衰減法
Transient瞬態光電導衰減法(with injection level:1E15 cm- 3)
氧含量 ≤8E+17 at/cm3 傅里葉變換紅外光譜儀
碳含量 ≤5E+16 at/cm3 傅里葉變換紅外光譜儀

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